在半導(dǎo)體和電子制造行業(yè)，潔凈室是芯片誕生的"搖籃"。氮?dú)猓∟?）、氬氣（Ar）等工藝氣體被廣泛用于晶圓清洗、刻蝕、封裝等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，氣體中哪怕ppb級(jí)別的微量水分，都可能在芯片表面形成氧化層或引發(fā)腐蝕，導(dǎo)致線路短路、良率下降甚至整批報(bào)廢。英國(guó)肖氏（SHAW）便攜式露點(diǎn)儀SADP-D，憑借快速響應(yīng)和便攜設(shè)計(jì)，成為潔凈室氣氛監(jiān)控的實(shí)用工具。

微量水分，如何毀掉一片芯片？

半導(dǎo)體制造對(duì)環(huán)境潔凈度的要求極為苛刻，工藝氣體的露點(diǎn)控制同樣不容忽視。當(dāng)?shù)獨(dú)饣驓鍤庵械乃趾科邥r(shí)，水汽會(huì)在晶圓表面凝結(jié)或與材料發(fā)生反應(yīng)，造成柵極氧化層缺陷、金屬互連腐蝕等問(wèn)題。這些缺陷往往在后道測(cè)試甚至出貨后才被發(fā)現(xiàn)，造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。

因此， Fab廠需要對(duì)各用氣點(diǎn)的氣體露點(diǎn)進(jìn)行定期抽查，確保干燥系統(tǒng)持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

藍(lán)傳感器精準(zhǔn)覆蓋，快速鎖定水分異常

SADP-D提供五種傳感器可選，其中藍(lán)（B）傳感器覆蓋-80°C至+20°C露點(diǎn)范圍，對(duì)應(yīng)0~23,000 ppm(v)水分濃度，能夠覆蓋潔凈室工藝氣體從一般干燥到深度干燥的檢測(cè)需求。

儀器精度達(dá)±3°C露點(diǎn)，分辨率0.1°C，重復(fù)性優(yōu)于±0.5°C，在潔凈室內(nèi)即可給出穩(wěn)定可靠的讀數(shù)。反應(yīng)時(shí)間方面，干燥→潮濕響應(yīng)小于20秒，潮濕→干燥小于120秒，完quan滿zu多用氣點(diǎn)快速巡回檢測(cè)的節(jié)拍要求。

潔凈室里即測(cè)即走，不破壞環(huán)境

潔凈室對(duì)帶入物品有嚴(yán)格管控，設(shè)備必須小巧、無(wú)污染。SADP-D整機(jī)尺寸僅200×225×278mm，由6節(jié)C型電池供電，連續(xù)運(yùn)行超過(guò)150小時(shí)，配有2米PTFE取樣軟管和專用皮革便攜箱，工程師可隨身攜帶至各用氣點(diǎn)，即插即測(cè)。

其獨(dú)特的干燥劑頭設(shè)計(jì)，使傳感器在兩次測(cè)試之間始終保持干燥，確保每次開(kāi)機(jī)都能即刻開(kāi)始測(cè)量，無(wú)需等待預(yù)熱。316燒結(jié)不銹鋼過(guò)濾器可有效阻隔顆粒污染，保護(hù)傳感器的同時(shí)也不會(huì)對(duì)潔凈室造成二次污染。

結(jié)語(yǔ)

在半導(dǎo)體和電子制造中，工藝氣體的露點(diǎn)監(jiān)控是良率保障的關(guān)鍵一環(huán)。SADP-D憑借藍(lán)傳感器的寬量程覆蓋、快速響應(yīng)和便攜潔凈的設(shè)計(jì)，讓工程師在潔凈室內(nèi)就能完成各用氣點(diǎn)的露點(diǎn)抽查，把水分隱患控制在源頭，為每一片芯片的品質(zhì)保駕護(hù)航