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如今,各國都在發(fā)展信息技術(shù)產(chǎn)業(yè),這主要是因?yàn)樾畔⒓夹g(shù)的發(fā)展對(duì)于國家來說是至關(guān)重要的,而半導(dǎo)體則是當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心。作為一個(gè)高能耗的行業(yè),在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中,由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求,尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈的超純水設(shè)備更是高之又高。
超純水可用于化學(xué)試劑處理后的晶圓清洗,化學(xué)試劑稀釋,光刻光學(xué)系統(tǒng)浸沒以及作為冷卻液的補(bǔ)充應(yīng)用在一些關(guān)鍵應(yīng)用中。由于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性,超純水的質(zhì)量直接影響到產(chǎn)品的品質(zhì)和性能,因此半導(dǎo)體行業(yè)往往需要超高等級(jí)的超純水質(zhì)量。

嚴(yán)苛的要求,復(fù)雜的制備工藝,給半導(dǎo)體超純水制備行業(yè)帶來頗高的準(zhǔn)入門檻,也給一些擁有核心自研優(yōu)勢的企業(yè)創(chuàng)造出發(fā)展機(jī)遇。作為產(chǎn)業(yè)鏈上的重要一環(huán),萊特萊德積極探索,以優(yōu)質(zhì)的超純水工藝推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。萊特萊德專注于芯片等半導(dǎo)體制造業(yè)多年,為半導(dǎo)體制造等行業(yè)客戶,提供超純水生產(chǎn)解決方案及裝備。
萊特萊德采用預(yù)處理+反滲透+EDI+拋光混床組合形式的超純水設(shè)備制備出高質(zhì)量的超純水。該設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備應(yīng)用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學(xué)品,不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問題,同時(shí)降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。本模塊不會(huì)有酸堿廢液產(chǎn)生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統(tǒng)產(chǎn)出的濃水可以回收再利用。
整套設(shè)備主要是消耗電量來維持系統(tǒng)運(yùn)行,其耗電量比傳統(tǒng)混床工藝低,無需樹脂更換,自動(dòng)化性能強(qiáng),無需人工操作。設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定地制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,采用的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)相對(duì)緊湊,所以其占地非常小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,在符合芯片生產(chǎn)用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)可以使水資源的利用率達(dá)到95%~99%,有效提升了水資源利用率。
萊特萊德超純水設(shè)備生產(chǎn)超純水,精度可達(dá)美標(biāo)E1.3.采用膜表面嫁接技術(shù)達(dá)到更好的脫鹽率,能連續(xù)、穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。已成功應(yīng)用到晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等多個(gè)領(lǐng)域。
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